高效纯化水设备和反渗透设备研发生产厂家
率先通过ISO9001-2015质量管理体系认证

139-8077-1708

联系我们

全国咨询热线:

028-8788-3686

电话:13980771708

传真:028-87883686

邮箱:413703673@qq.com

地址:成都市高新区天府大道北段1700号环球中心N2区

典型工艺

来源:时间:2013-03-26

18.2MΩ降TOC超纯水制水典型工艺:

原水→水箱→多介质过滤器→活性炭过滤器→阻垢剂添加→254 nm紫外线(UV)杀菌装置→一级RO装置→二级RO装置→中间水箱→脱气膜组装置→EDI装置→氮封纯水箱→185nm除TOC紫外线(UV)装置→抛光混床→超滤装置→用水点。

集成电路超纯水水质要求及制水工艺

集成电路(IC)是以光学方式把回路印刷到硅芯片上。芯片上的组件或连接组件间的配线线径极微细,只有1~2um或更小。其间若有微粒或微生物附着,易使回路短路。制程中需使用大量高纯度的纯净水洗净,以保有高的良率,以制造1Mbit的DRAM产品其水质技术要求如下:

1Mbit DRAM产品的超纯水要求规范
项目 可达到值 可接受值 项目 可达到值 可接受值
电阻,25℃ 18.2 18 Br- <0.1 0.1
TOC, ×10-9 <10 <30 NO3- <0.1 0.1
粒子数/L SO24- <0.05 0.2
SEM法 总离子 <0.5 <0.7
0.2~0.3μm <2000 残留物,mg/L <0.1 0.1
0.3~0.5μm <200 <200 金属,μg/L 
>0.5μm <1 <1 Li <0.03 0.05
粒子数/L Mg <0.02 0.05
激光法 Ca 2 <2.0
>0.5μm <100 Sr <0.01 0.05
细菌数/100mL Ba <0.01 0.05
培养法 0 <6 B <0.05 2
SEM法 <1 <10 Al <0.05 0.05
EPI法 <5 <50 Cr <0.02 0.05
溶解的SiO2,μg/L <0.4 <4 Mn <0.02 0.05
硼,μg/L <0.05 2 Fe <0.02 0.1
离子,μg/L Ni <0.02 0.05
Na+ <0.05 0.1 Cu <0.02 0.05
K+ <0.1 0.1 Zn <0.02 0.05
Cl- <0.05 0.1 Pb <0.02 0.05

为生产出符合要求的超纯水,各国均发展出不同方式之设备,此处谨以RO反渗透为主要之处理流程供参考。超纯水系统流程:

集成电路超纯水工艺流程
1.进水泵浦(交替运转) 10.254nm紫外线杀菌器
2.活性碳过滤器 11.阳离子床
3.软化过滤器 12.阴离子床
4.精密过滤器 13.0.45电子级滤芯
5.抑垢剂用泵 14.185nm紫外线杀菌器
6.高压增压泵 15.增压输送泵
7.RO单元 16.精炼混合床
8.贮存槽 17.254nm紫外线杀菌器
9.纯水输送泵 18.0.2um电子级滤芯
注:上列流程谨供参考

典型医药用纯水制备工艺流程

纯化水水质标准:

  • 电阻率:≥0.5MΩ.cm(电导率:≤2μS)
  • 氨≤0.3μg/ml
  • 硝酸盐≤0.06μg/ml
  • 重金属≤0.5μg/ml

传统工艺原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透设备→中间水箱→中间水泵→离子交换器→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→微孔过滤器→用水点。

新工艺原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透机→中间水箱→中间水泵→EDI系统→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→微孔过滤器→用水点。

推荐新工艺原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→第一级反渗透 →PH调节→中间水箱→第二级反渗透(反渗透膜表面带正电荷)→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→ 微孔过滤器→用水点。

新工艺制药纯化水系统设备清单(以2t/h纯化水设备为例):

序号 名称 规格、型号 产地 单位 数量 备注
1 自来水加压泵 CHI8-20 8t/h 丹麦 1 压力自动控制
2 多介质过滤器 JCW180/440 2162 美国 1 自动反冲洗
3 活性炭过滤器 JCF180/440 2162 美国 1 自动反冲洗
4 全自动软水器 JWS180/440 2162 美国 1 自动再生
5 保安过滤器 5μm 国产 1 不锈钢结构
6 第一级反渗透机 RO3000(3t/h) 组装 1 膜脱盐率99.2%
7 加药机 0.47l/h 美国 1 米顿罗
8 中间水箱 1000LPE 国产 1 PH调节箱
9 第二级反渗透机 RO2000(2t/h) 组装 1 膜带正电荷膜
10 不锈钢储水罐 2000L 合资 1 316L不锈钢
11 紫外线杀菌灯 2t/h 国产 1 316L不锈钢
12 纯净水加压泵 CHI2-30 丹麦 1 316L不锈钢
13 微孔过滤器 0.22μm 国产 1 316L不锈钢
14 管材及配件 合资 1 316L不锈钢
  • 联系我们
  • 服务热线:028-87883686
  • 联系电话:13980771708
  • 传真:028-87883686
  • 邮箱:413703673@qq.com
  • 地址:成都市高新区天府大道北段1700号环球中心N2区

微信二维码

纯水机 水处理设备 贵州水处理设备 贵州纯水机 贵州纯水设备 纯水设备 超纯水机 四川纯水机 四川水处理设备 四川纯水设备 四川超纯水机设备 

Copyright © 2020 成都浩康科技有限公司    成都华泰海航科技有限公司 All Reserved版权所有 蜀ICP备17025366号 成都网站建设 成都网站制作创新互联